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FRT MicroSpy^® FT:
Das neue Messgerät für Schichtdicke

Viele Anwendungsbeispiele

Es gibt viele Anwendungsbeispiele für die Messung der Schichtdicke und sehr dünner Schichten. Einsatzbereiche finden sich neben vielen anderen z.B. in der (Dünnschicht-) Photovoltaik, der Medizintechnik, der Fertigung von Halbleiterprodukten, Flat-Panel-Displays und OLED sowie der Glas- und Optikindustrie .

Gemessen werden können einzelne Schichten
und Mehrschichtsysteme wie z.B.:

• Schichtdicke einer Antireflexionsschicht (ARC)
• Schichtdicke von Photoresist (z.B. AZ Photoresist)
• Schichtdicke eines Hard Coating
• Schichtdicke von Transparent Conductive Oxides (TCO)
• Schichtdicke von Tin Doped Indium Oxides (ITO)
• Schichtdicke von Drug Eluting Films

Schichtdicke in 3D visualisieren

Der neue MicroSpy^® FT verfügt neben der Möglichkeit Punkt- und Profilmessungen vorzunehmen, auch über einen 3D-Mapping Modus mit dem die Homogenität einer gesamten Beschichtung evaluiert werden kann.

Hersteller von beschichteten Produkten wie Solarzellen, technischen Gläsern,
CD's und DVD's
aber auch Halbleiter-
und Mikrosystemtechnik,
nutzen diese Form der 3D-Darstellung, um auf einen Blick sehr schnell Fehlerquellen und Optimierungspotenziale im Beschichtungsprozess zu finden.

Für die 3D-Darstellung wird die beschichtete Oberfläche zunächst mit Hilfe eines motorisierten x,y-Tisches unterhalb des Schichtdickensensors berührungslos abgerastert. Bei diesem Vorgang fallen bis zu 100 Millionen einzelne Messpunkte an, die mit leistungsstarker Hard- und Software automatisch zu einer hoch aufgelösten 3D-Darstellung der gesamten Beschichtung verrechnet werden.

Daran lassen sich dann per Mausklick gezielt Informationen über die spezifische Schichtdicke an einer gegebenen Position abrufen, Profile erfassen oder die gesamte Homogenität der Beschichtung bewerten.

Schichtdicke mit leistungsstarker Technik messen

Bei geringer Aufstellfläche vereint der MicroSpy^® FT die Aspekte Leistung und Ergonomie in einem schlüssigen Gesamtkonzept. Für die möglichst einfache Bedienung wurde eine CCD-Kamera mit zuschaltbarer Beleuchtung integriert, die während der Positionierung des Sensors die Probenoberfläche in der Steuersoftware vergrößert anzeigt. Durch das Vorschaubild wird die Erstellung aussagekräftiger Messungen der Schichtdicke auch ohne längere Schulung für den Bediener besonders intuitiv.

Die manuelle Annäherung und Feineinstellung des Sensors über der Probe erfolgt über eine Präzisionsachse mit Mikrometerauflösung, die häufig nur in sehr hochwertigen optischen Mikroskopen verbaut wird.

Der MicroSpy^® FT ist mit einem motorisierten Verfahrtisch mit hoher Ablaufgenauigkeit ausgestattet, der optimal mit den zur Auswahl stehenden Messsensoren harmoniert. Die Tischfläche von 145 mm x 145 mm bei einem Mess- und Verfahrbereich von 50 mm x 50 mm bietet ausreichend Platz für die Untersuchung der Schichtdicke auf unterschiedlichen Objekten. Auch an die Probenfixierung wurde gedacht: Individuelle Probenhalter können über ein Raster von Gewindebohrungen sicher mit dem Messtisch verschraubt werden.

Der Lieferumfang umfasst neben dem Messgerät, einen leistungsfähigen Messrechner, eine Vollversion des Analyseprogramms FRT Mark III sowie die bewährte Messsoftware FRT Acquire, die das Festlegen und Abrufen vorderfinierter Messungen ermöglicht (grundlegende Automatisierung).

Optimales Preis-/Leistungsverhältnis

Als standardisiertes Seriengerät wird der MicroSpy^® FT zu einem besonders attraktiven Anschaffungspreis angeboten. Auf Qualität muss trotzdem nicht verzichtet werden, denn das Gerät wird mit einem hochwertigen Sensor zur Messung der Schichtdicke ausgestattet, der auch in den FRT Messgeräten der Oberklasse mit Multisensor Technik und Automatisierung zum Einsatz kommt.

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