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Optimal für Schichtdicke

Der MicroSpy® FT ist ein Single-Sensor Messgerät für die unkomplizierte, berührungslose Messung von Beschichtungen, die im sichtbaren oder nicht-sichtbaren Spektralbereich transparent sind. Selbst sehr dünne Schichten von nur einigen Nanometern Dicke werden sicher gemessen, weshalb das Gerät vor allem bei Entwicklern und bei der Qualitätssicherung in Hochtechnologiefeldern sehr geschätzt ist.

Für jede Schicht das passende Messverfahren
Zum Einsatz kommen optische Schichtdickensensoren mit interferometrischen oder reflektometrischen Verfahren, so dass die Schichtdicke von einigen Millimetern bis hin zu 10 Nanometern zerstörungsfrei bestimmt werden kann. Dabei spielt es keine Rolle, ob frei tragende Schichten (z.B. Folien) oder Einzel- bzw. Mehrschichtsysteme auf einem Substrat gemessen werden sollen. Auch Materialien wie z.B. Silizium, die bei sichtbarem Licht nicht transparent sind, lassen sich dank der großen Auswahl an Sensoren mit verschiedenen Lichtquellen, Messfleckgrößen und Dickenmessbereichen zuverlässig bestimmen.

Viele Anwendungsbeispiele

Es gibt viele Anwendungsbeispiele für die Messung derSchichtdicke und sehr dünner Schichten. Einsatzbereiche finden sich neben vielen anderen z.B. in der (Dünnschicht-) Photovoltaik, der Medizintechnik, der Fertigung von Halbleiterprodukten, Flat-Panel-Displays und OLED sowie der Glas- und Optikindustrie .

Gemessen werden können einzelne Schichten und Mehrschichtsysteme wie z.B.:

  • Schichtdicke einer Antireflexionsschicht (ARC)
  • Schichtdicke von Photoresist (z.B. AZ Photoresist)
  • Schichtdicke eines Hard Coating
  • Schichtdicke von Transparent Conductive Oxides (TCO)
  • Schichtdicke von Tin Doped Indium Oxides (ITO)
  • Schichtdicke von Drug Eluting Films

Schichtdicke in 3D visualisieren

Der MicroSpy® FT verfügt neben der Möglichkeit Punkt- und Profilmessungen vorzunehmen, auch über einen 3D-Mapping Modus mit dem die Homogenität einer gesamten Beschichtung evaluiert werden kann.

Hersteller von beschichteten Produkten wie Solarzellen, technischen Gläsern, CD's und DVD's aber auch Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, nutzen diese Form der 3D-Darstellung, um auf einen Blick sehr schnell Fehlerquellen und Optimierungspotenziale im Beschichtungsprozess zu finden.

Bis zu 100 Millionen einzelne Messpunkte!
Für die 3D-Darstellung wird die beschichtete Oberfläche zunächst mit Hilfe eines motorisierten x,y-Tisches unterhalb des Schichtdickensensors berührungslos abgerastert. Bei diesem Vorgang fallen bis zu 100 Millionen einzelne Messpunkte an, die mit leistungsstarker Hard- und Software automatisch zu einer hoch aufgelösten 3D-Darstellung der gesamten Beschichtung verrechnet werden. Daran lassen sich dann per Mausklick gezielt Informationen über die spezifische Schichtdicke an einer gegebenen Position abrufen, Profile erfassen oder die gesamte Homogenität der Beschichtung bewerten.

Schichtdickenmessung

Schichtdicke mit leistungsstarker Technik messen

Bei geringer Aufstellfläche vereint der MicroSpy® FT die Aspekte Leistung und Ergonomie in einem schlüssigen Gesamtkonzept. Für die möglichst einfache Bedienung wurde eine CCD-Kamera mit zuschaltbarer Beleuchtung integriert, die während der Positionierung des Sensors die Probenoberfläche in der Steuersoftware vergrößert anzeigt. Durch das Vorschaubild wird die Erstellung aussagekräftiger Messungen der Schichtdicke auch ohne längere Schulung für den Bediener besonders intuitiv.  
Schichtdickenmessung nach wissenschaftlichen Erkenntnissen
Zur Lösung der gestellten Messaufgabe wird der MicroSpy® FT mit einem geeigneten Sensor aus dem FRT Programm passgenau konfiguriert.
Wählen Sie zwischen der Schichtdickenanalyse per Fourier-Transformation (FFT) oder der Messung nanometer-dünner Schichtdicken mittels Spektralfit. Selbstverständlich können Sie sich jederzeit auf die kompetente Beratung von FRT verlassen. Bei unseren Oberflächenexperten ist Ihre Messaufgabe bestens aufgehoben.

Schichtdickenmessung

Auch Schichtdicke an größeren Proben sicher messen
Der MicroSpy® FT ist mit einem motorisierten Verfahrtisch mit hoher Ablaufgenauigkeit ausgestattet, der optimal mit den zur Auswahl stehenden Messsensoren harmoniert. Die Tischfläche von 145 mm x 145 mm bei einem Mess- und Verfahrbereich von 50 mm x 50 mm bietet ausreichend Platz für die Untersuchung der Schichtdicke auf unterschiedlichen Objekten. Auch an die Probenfixierung wurde gedacht: Individuelle Probenhalter können über ein Raster von Gewindebohrungen sicher mit dem Messtisch verschraubt werden.

Optimales Preis- / Leistungsverhältnis

Als standardisiertes Seriengerät wird der MicroSpy® FT zu einem besonders attraktiven Anschaffungspreis angeboten. Auf Qualität muss trotzdem nicht verzichtet werden, denn das Gerät wird mit einem hochwertigen Sensor zur Messung der Schichtdicke ausgestattet, der auch in den FRT Messgeräten der Oberklasse mit Multisensor Technik und Automatisierung zum Einsatz kommt.

Besonders im Service

Zur Lösung Ihrer Messaufgaben unterstützen Sie die FRT Experten bei der Zusammenstellung der bestmöglichen System-Konfiguration. FRT verfügt über mehrjährige Erfahrung in der Entwicklung und Herstellung präziser Oberflächenmessgeräte sowie der Analyse von Oberflächen und Beschichtungen.
Sprechen Sie uns an, wir beraten Sie gern!
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